전테크

Technical Research Institute

사업소개

증발농축

S 반도체 세정 공장

  • Client S 반도체 세정 공장
  • Year 2021
  • Location 중국 우시
  • Sector RO 농축수
  • Division 증발농축
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프로젝트 개요

설치 목적: 반도체 세정공정에서 발생되는 알칼리폐수를 처리하기 위해 증발농축기 설치


시설규모: 100㎥/d


적용공정 : MVR Type의 감압증발농축

운영결과

항목 단위 원수 전처리수 증발농축기 비고
응축수 농축
Flow ㎥/d 100 100 97 3
pH - 12 7.5 ~ 8.5 7.0 ~ 8.0 6.5 ~ 8.5
CODcr ㎎/ℓ 49 29 7.3 730.6
SS ㎎/ℓ 142 50 <2 1,667
CI- ㎎/ℓ 9.7 30 <2 1,000
F ㎎/ℓ 50 15 <1 500
NO₃-N ㎎/ℓ 8.8 50.0 <3 1,667
Conductivity ㎲/㎝ 15,000 10,500 84 - <100

시공사진